Какво прави душ слушалката на PECVD?

0020-30797 Душ слушалка с перфорирана плоча

0021-35869 ДУШ

 

Какво прави душ слушалката в процеса на PECVD?

Както е показано на фигурата по-горе, Showerhead, също преведено като спринклерна глава, душова глава и т.н., обикновено приляга плътно към горната част на реакционната зона и действа като вход за газ, като инжектира реакционния газ равномерно в камерата през малките отвори на повърхността му. Разбира се, това не е само функцията за разпределение на газ, някои са проектирани да се използват като част от електрода.
Функция на Душ слушалка?

Повърхността на главата на душа е покрита с плътни пори и след като реакционният газ потече, той се разделя равномерно на няколко части и се прехвърля към горната част на вафлата с постоянна скорост на потока, така че реакционният газ равномерно покрива цялата вафлена повърхност за получаване на по-равномерно покритие. Когато душовата глава е част от електрода, радиочестотният източник на енергия генерира равномерно електрическо поле на повърхността си, способно да образува хомогенна плазма.

Какъв метал обикновено се използва за направата на душ слушалка?

Най-често срещаният е алуминият, който има висока топлопроводимост и устойчивост на корозия. Кварц или керамика също могат да се използват за направата на душ слушалка.